东方晶源亮相SEMICONCHINA2021硬核技术展现半导体制造良率管理高水准

（原标题：东方晶源亮相SEMICON CHINA2021硬核技术展现半导体制造良率管理高水准）

　　3月15日，SEMICON CHINA 2021中国国际半导体展在上海拉开帷幕。国内集成电路良率管理供应商东方晶源微电子科技（北京）有限公司如约而至亮相此次展会，带来三款拳头产品以及微电子设计与制造智能良率优化综合解决方案，展现出国内设备厂商在该领域的高水准。

　　展会刚开始，前来东方晶源展台的参观者就络绎不绝。很多半导体设备采购商都对其产品展现出浓厚的兴趣并与技术、销售人员进行深入的沟通和交流。据悉，多年以来东方晶源聚焦集成电路良率管理领域，推出了计算光刻软件产品PanGen，以及纳米级电子束缺陷检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）两款硬件产品。此外，还创新的提出了前瞻性产品——微电子设计与制造智能良率优化平台HPO™，为行业良率管理实现质的飞跃提出了新的解决路径。

　　值得一提的是，上述产品均为东方晶源自主研发，突破了数项“卡脖子”技术难题，得到客户的高度认可。不仅填补了国内市场空白，即便在国际市场上同样具有竞争力。如此亮眼的成绩与其雄厚的技术实力密不可分。

　　东方晶源微电子科技（北京）有限公司成立于2014年，自成立之初就确立了以围绕电子束图像检测和良率提升软件解决方案为企业主攻方向。七年来在创始人俞宗强博士的带领下，东方晶源研发团队凭借工程师精神和让集成电路自主可控的使命感，披荆斩棘砥砺前行，短短几年间就申报了国内外发明专利99项，同时还承担了三项国家科技02重大专项及一项工业和信息化部工业强基专项。可以说东方晶源是我国在电子束硅片图形缺陷检测、计算光刻、半导体制造过程质量控制等方面的中坚力量。

　　半导体是信息社会的基石，也是信息技术的重要基础。未来，半导体自给自足对每个国家的重要性将不亚于以前的钢铁和能源。近年来随着国际环境的多变，我国越来越意识到半导体产业自主可控的重要性，大力发展半导体产业的恒心、决心空前。可喜的是在半导体产业链上已经涌现出了一些像东方晶源这样的企业，可以实现国产替代。相信在良好的政策、融资环境下，这些企业将实现快速腾飞，未来可期。