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中微公司:PrismoUniMaxMOCVD设备订单超100腔,可用于MiniLED生产

2022-04-19 00:45:55 来源:

  12 月 9 日消息,今日中微公司宣布,旗下的 Prismo UniMax MOCVD 设备订单超 100 腔,迎来新的里程碑。MOCVD 意为一种新型气相外延生长技术,可以在衬底上生成金属有机化合物的化学气相沉淀。

  中微公司的 Prismo UniMax MOCVD 设备于今年 6 月发布,主要用于氮化镓基 Mini LED 外延片的量产,成品可用于制造电视、笔记本、平板电脑等显示屏。

  Prismo UniMax MOCVD 设备专为高性能 Mini LED 量产而设计,通过创新的多区温度调节系统,能精确控制托盘局部区域温度,有助于更大程度上提升 LED 波长均匀性。此外,优化的喷淋头设计实现了更好的均匀性和产出稳定性,新一代直流电源进一步提升了电能转化效率。

  这款设备配备 785mm 大直径石墨托盘,通过石墨托盘的不同设计,最多可以同时加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片,能提高产能并有效降低 Mini LED 生产成本。Prismo UniMax®; 在同一系统中可配备多达 4 个反应腔,每个反应腔都可以独立控制。

  据了解,Prismo 系列产品还包括 Prismo D-BLUE、Prismo A7 和 Prismo HiT3,首款设备于 2013 年正式发布发布,目前中微公司的 MOCVD 设备在行业内主要的 LED 生产线上全面投入量产。

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